详细介绍CKD流量计PFM1000D
本产品的?；す乖煊隝P40相当。请不要在有水分、盐分、
尘埃及切削的场所或加压、减压的环境中设置。不可在温
度急剧变化的场所或者湿度*的环境中使用，否则会使本
体内部结露而发生故障。
本产品的流量以不受温度、压力影响的质量流量计量。
单位为R/min，这是质量流量换算成在200C，1个大气压
（101kPa）下的体积流量时的显示。
请不要在亚硫酸气体等腐蚀性气体氛围中使用。
本产品用于确认吸附等时，请考虑大气的结露点与本产品
的环境温度，请在配管内不结露的条件下使用。

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特别时装置电源打开时，原压和真空源没有得到供应时，
流量传感器（开关），“流量0”=“传感器输出（开关输
出）ON”的状态，请确保PLC的控制器程序不出问题。
?? 本产品用于确认吸附等时，因吸附喷嘴与本产品之间配管
的容积的大小，响应速度有可能减慢。此时，应采取缩小
配管容积等对策。
?? 用于吸气等真空用途时，在快插接头附近请不要弯曲。在
快插接头附近增加管道应力时，请把快插式环插入管道
后，再插入快插接头使用。
请在环境温度、流体温度为0～500C的范围内使用。
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