SMC电子式真空减压阀主要特点
采用了模块式结构，根据使用目的，
可以自由组合成不同功能的真空组合元件。
有真空发生器系统和真空泵系统两类组合。
SMC ZX系列真空组件的结构紧凑、重量小（总组合才120g），
故可直接安装在执行元件上。
特别适合于100G以下的电子元件、精密零件的搬运、装配和粘接。.
轻（多组合400g）。因配管、配线、
指示及调整旋钮等全装在侧面，
故可以多个组件集装在一起，便于维护。
因为吧真空发生器的接收管设计成前后两个抽吸口，

SMC电子式真空减压阀主要特点

除**真空度达84kPa外，吸入流量可增大40%。
SMC ZM系列真空组件多可集装10个。
供气口有单独供气和集中供气两种，排气口为集中排气式。.
输入信号增大，q真空压用电磁阀为ON，
w大气压用电磁阀变为OFF状态。由此，通过VAC.和e先导室，
e先导室的压力变为负压，并作用在r膜片的上面。
由此结果，与r膜片连动的t真空压阀芯打开，
VAC.与OUT.接通，设定压力变为负压。
此负压通过u压力传感器，反馈至i控制回路。
在这里进行修正动作，直到真空压力与输入信号成比例，
因此通常会得到与输入信号成比例的真空压力。
SMC电子式真空减压阀主要特点