SMC精密调压阀，进口SMC精密调压阀

加速度10G中的小者在X、Y、Z方向各2小时
系列/CAD 使用压力范围 (Pa) 使用流体 门尺寸
100G X、Y、Z方向各3次
系列/CAD 阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
(阀芯)座部分采用间隙隔膜，
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微粒子数量大幅降低。
外部端子一起与外壳间2M‰(DC500V兆欧表)
10~500Hz振幅1.5mm和

SMC精密调压阀，进口SMC精密调压阀
伴随主供气初期供气可进行流量调整。
(加压通/弹簧密封) 氮气、
空气、惰性气体等 VCR?
特长 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
0~50℃(但未结露)
50V P-P 脉冲宽1μs 能持续1ns(毫微秒)
外部端子一起与外壳间AC1000V 1分钟
(*×宽) (mm) 动作压力
XGT  大气压～1×10-6 惰性气体系的真空 32×222
50×336 0.45～0.6
特长 对于半导体装置等场合、
适合于负载锁定室和传送室
以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。