正确使用施迈茨干式真空泵
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产品名称: 正确使用施迈茨干式真空泵
产品型号: 10.03.01.00142 EVE-TR 40 AC3
产品展商: 施迈茨
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简单介绍
正确使用施迈茨干式真空泵
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每**都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
正确使用施迈茨干式真空泵
正确使用施迈茨干式真空泵
的详细介绍
正确使用施迈茨干式真空泵
干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
双圆裂片式设计和目前流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每**都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到*的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
干式（无油）真空泵
旋转叶片泵多单元压缩原理
长久润滑轴承和强大冷却风扇
多种输出数值的型号
效率**的旋转叶片泵
牢固、维修量小
无振动运行，连续、低脉冲输出
良*的散热功能
抽吸量可匹配客户实际要求
耗电量低、连续运行经济性*
正确使用施迈茨干式真空泵
