倍加福P+F传感器CBN15-F64-E2的功能阐述

动态响应*：
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约
其固有频率很*，动态响应时间短，能在几兆赫兹
的频率下工作，特别适用于动态测量。又由于其介
几个10^(-5)N)，需要的作用能量极小，又由于它
的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此
质损耗小可以用较*频率供电，因此系统工作频率
*。它可用于测量*速变化的参数。

功能介绍：
电容式传感器一般是将被测量的变化量转换为电容
量的变化。目前，基于这种原理的各种类型的传感
pF，甚至几个fF。这便对电容检测的精度提出了
很*的要求，尤其是在传感器的研发过程中，往往
器已在测量加速度、液位、几何孔径等方面得到了
MEMS传感器），其电容变化范同往往只有几个
广泛的应用。但以电容为变化量的传感器（尤其是
需要极*精度的电容检测设备对传感器进行测试与
调校。

倍加福P+F传感器CBN15-F64-E2的功能阐述